單晶爐是生長硅單晶的主要設(shè)備，是在惰性氣體環(huán)境中，通過石墨電阻加熱器將 多晶硅加熱融化，然后用軟軸直拉法生長無位錯(cuò)的單晶生長設(shè)備。下圖是單晶爐圖片及系統(tǒng)構(gòu)造圖：
單晶爐控制系統(tǒng)相關(guān)功能如下：
1. 伺服應(yīng)用于坩堝升降及籽晶提升系統(tǒng);
2. 觸摸屏進(jìn)行數(shù)據(jù)輸入及狀態(tài)顯示;
3. 視覺實(shí)時(shí)測量晶棒生長尺寸;
承載著整個(gè)系統(tǒng)的運(yùn)算及執(zhí)行。
OMRON FZ3 產(chǎn)品特點(diǎn)：
1. 達(dá)到前所未有的高精度測量 --500 萬像素;
2. 全景圖象處理 -- 將 2 臺(tái)或多臺(tái)相機(jī)圖象進(jìn)行合成;
3. 高動(dòng)態(tài)范圍的功能 --FZ3 可以獲得高達(dá) 500 ： 1 的動(dòng)態(tài)范圍;
4. 圖像失真修正 -- 減少輸送過程或照相機(jī)位置的影響;
5. 高速防光暈過濾器 -- 通過分析光的波長來消除產(chǎn)生光暈的鏡面反射。
使用FZ3特有的“圓弧搜索”功能測量“引晶”“放肩”工藝，用“邊緣搜索”功能測量“轉(zhuǎn)肩”“等徑”工藝?！耙А彪A段采集10個(gè)數(shù)據(jù)，“等徑”采集80個(gè)數(shù)據(jù)，大大提升了FZ3測量精度和數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。
以下是FZ3在OC構(gòu)造的單晶爐控制系統(tǒng)中拍攝的圖片：
（轉(zhuǎn)載）
