Fully Auto有門(mén)道。
晶圓倉(cāng)與潔凈室Stocker之間，高速的OHT系統(tǒng)連接，主要覆蓋Inter Bay，是生產(chǎn)物流“大動(dòng)脈”;
在Stocker與E-Rack再到機(jī)臺(tái)上下料環(huán)節(jié)，采用AMR，覆蓋Intra Bay，是工廠里的物流“毛細(xì)血管”。Inter Bay上主打一個(gè)快，Intra Bay中講究一個(gè)細(xì)膩。AMR與OHT互為補(bǔ)充，共同鋪開(kāi)半導(dǎo)體生產(chǎn)的智能化升級(jí)通路。
1、集群調(diào)度
支持1000+AMR共場(chǎng)作業(yè)
多機(jī)型協(xié)同調(diào)度
2、全景覆蓋
全治具搬運(yùn)
強(qiáng)輻射、高潔凈、高震動(dòng)場(chǎng)景適配
3、系統(tǒng)兼容
智慧生產(chǎn)系統(tǒng)協(xié)同打通
實(shí)現(xiàn)整場(chǎng)智慧物流建設(shè)
（來(lái)源：優(yōu)艾智合機(jī)器人）
