在半導(dǎo)體硅片制造中，涉及晶體生長(zhǎng)、晶錠切片、外延生長(zhǎng)、 晶圓設(shè)計(jì)、制造、封裝等多個(gè)流程，每一個(gè)工藝均至關(guān)重要。而晶體生長(zhǎng)作為上游關(guān)鍵環(huán)節(jié)，不僅決定了晶體質(zhì)量，還直接影響到后續(xù)所有工序的質(zhì)量和最終器件的品質(zhì)與性能。
長(zhǎng)晶爐是實(shí)現(xiàn)晶體生長(zhǎng)的核心設(shè)備，承擔(dān)著制造優(yōu)質(zhì)晶體的重要任務(wù)，包含爐體、加熱系統(tǒng)等多個(gè)關(guān)鍵組成部分，這些部分共同作用，一同創(chuàng)造出適合晶體生長(zhǎng)的環(huán)境。在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中，熱場(chǎng)和工藝條件決定了晶體的質(zhì)量、尺寸等關(guān)鍵指標(biāo)。
長(zhǎng)晶爐設(shè)備運(yùn)行時(shí)的溫度可達(dá)上千度，同時(shí)對(duì)于熱場(chǎng)監(jiān)控的要求也很高，需要在長(zhǎng)晶過(guò)程中精準(zhǔn)調(diào)控生長(zhǎng)溫度，以保證為晶體生長(zhǎng)提供適宜的溫度環(huán)境。水冷因其優(yōu)異的散熱性能和熱穩(wěn)定性，廣泛應(yīng)用在長(zhǎng)晶爐腔體冷卻系統(tǒng)中。
針對(duì)該工藝的嚴(yán)苛要求，史陶比爾提供水冷回路的自動(dòng)對(duì)接方案，可根據(jù)實(shí)際工況和使用環(huán)境定制設(shè)計(jì)，賦能長(zhǎng)晶爐整體設(shè)備和工藝性能，進(jìn)而提高晶體質(zhì)量。
01、將水路集成到一塊基板上，配合浮動(dòng)和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)對(duì)接
02、全自動(dòng)快速對(duì)接和斷開，溫控更靈活，大幅降低廢料率、穩(wěn)定晶體質(zhì)量;可在維護(hù)時(shí)提高效率，減少停機(jī)時(shí)間，保障生產(chǎn)連續(xù)性
03、流體接頭采用平頭無(wú)滴漏技術(shù)，高度密封，確保回路斷開時(shí)無(wú)介質(zhì)泄漏，確保生產(chǎn)安全和回路清潔
作為全球快速連接系統(tǒng)的領(lǐng)先制造商之一，史陶比爾積累了近70年深厚的工業(yè)連接經(jīng)驗(yàn)，在航空航天、鐵路、核電、醫(yī)療設(shè)備、數(shù)據(jù)中心等多個(gè)跨行業(yè)領(lǐng)域擁有豐富液冷批量交付經(jīng)驗(yàn)，能夠滿足半導(dǎo)體制造行業(yè)的嚴(yán)苛要求。
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