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三菱電機機器人搬送晶圓盒、晶圓

ainet.cn 2014年01月25日

視頻企業(yè)：三菱電機自動化

視頻描述：視頻介紹了用潔凈型多關(guān)節(jié)6軸機器人「RV-3SC、RV-6SC」搬送12英寸晶圓，「RV-12SC」搬送晶圓盒。使用枚葉式抓手可以同時抓5片晶圓，用抓取盒子的抓手抓取晶圓盒。

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